深圳大学微电子研究院院长
深圳大学半导体制造研究院院长
深圳大学机电学院特聘教授

王序进院士

沙发论坛嘉宾

王序进院士在海内外长年从事微纳加工、芯片制造核心工艺和设备的研发,是该领域的世界级顶尖专家。在齿轮精密加工领域研发成功了高效经济成型磨齿工艺,获得中国首届青年科技奖。研发的LED蓝宝石垫底超精密加工技术为世界首次实现LED量产做出了重大贡献。在半导体制程领域研发成功了用于低k绝缘层平坦化的全世界最低压CMP制程工艺和设备,这一成果得到国际CMP业界高度评价,并获得日本精密工学会技术奖。世界上首次研发成功了带型单层硬质CMP研磨垫工艺并实现SoC半导体芯片CMP制程量产。研发成功了新型3层构造CMP研磨垫,实现世界上最高的平坦度和均匀性的综合CMP性能,并实现DRAM半导体存储器芯片CMP制程量产。研发成功了浸润式光刻机投影镜头在线检测用新型光学微纳器件,实现高端半导体芯片浸润式光刻制程稳定量产。