Aixtron
副总经理

方子文

主题:实现GaN和SiC功率器件产业化的关键MOCVD技术

方子文博士毕业于英国利物浦大学工程学院,现任AIXTRON中国分公司副总经理。他在AIXTRON曾担任工艺科学家,实验室经理,市场部总监等职,精通化合物半导体外延材料生长、制备和测试。在本次报告中,AIXTRON将会介绍GaN和SiC功率器件对外延生长的要求,以及如何突破现有MOCVD设备的局限性,使用最新的技术铺平GaN及SiC功率器件高良率低成本生产的产业化道路。